真空閥門也可以分為手動真空閥,氣動真空閥,電動真空閥,而真空閥和普通壓力閥門的卻別在于,真空閥是用于隔離(切斷)氣流、調節氣流和分配氣流。各種真空裝置(又稱真空工程設備)都離不開真空系統。真空閥在簡單或復雜的真空系統中起著重要的作用。
一般來說,在設計真空系統時,應根據真空裝置的要求和真空系統的特點選擇不同類型的真空閥。例如,真空凈化閥用于將大氣置于真空系統中。真空裝置完成真空工作后,要更換工件或取出樣品,必須在真空室中放置大氣,使真空室門兩側沒有壓差,這樣才能打開門更換工件。針閥充入真空系統,可以調節空氣流量。
真空閥通常用于真空泵廢物測量、真空鍍膜、離子束刻蝕、可控熱核反應熱反應裝置等。為真空度穩定的工藝要求提供精確調節的氣流;高真空擋板閥或真空電磁閥通常用于主泵的進氣口,將真空泵與大氣隔離。高真空蝶閥可以安裝在真空鏈之間,真空管和真空泵之間,用于開關。真空閥門的設計應當無泄漏、機械和電氣故障等等。
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